末日這種事當然是要上報啦 第34章 不搶就換
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陳進一想到張雲似乎並非技術工程師的身份,還是耐心的解釋了:
“這台ssa600/20采用的是193n氟化氬深紫外光源。
它的曝光波長達到了28奈米,采用沉浸式光刻技術。
配合我們自研的雙工作台係統,每小時能完成120片晶圓的曝光作業,套刻精度控製在3奈米以內。
它的光源係統用了我們自己研發的準分子鐳射器,穩定性比進口設備提升了15。
而且重點零部件國產化率超過80。
當然,和國際頂尖的5奈米光刻機比,還有差距。
但這已經是我們目前能拿出的最好成果了。
目前,我們還在集中攻克7奈米製程的量產問題。”
陳進一的話有些無奈,龍國的半導體行業,尤其是光刻機技術還是太落後了些。
誰都知道半導體領域想要突破,核心中的核心就是光刻機。
如今龍國大部分高階晶片,都需要依賴進口生產。
而且存在技術專利的問題,每年都要花上一大筆授權費用。
眼前這台機子已經是好幾年前的產物了,光是7奈米級彆的生產就已經卡了他們許多年。
張雲聽完後,緊接著問道:
“它在七奈米以下的製程上有什麼問題嗎?”
陳進一冇想到他會直接問出這個問題,愣了一下纔回答:
“問題還不少,主要是在多重曝光的疊加誤差上。
duv的波長是193n,從根本上限製了解析度的理論上限。
目前28奈米波長要實現7奈米製程,需要進行4次曝光。
但每次曝光的定位誤差會累積,目前最多隻能穩定在9奈米左右,離量產要求的7奈米還有距離。”
嚴正行聽到這裡,歎了口氣,心裡搖了搖頭。
這就是他當初為什麼離開龍國的原因了。
和世界頂尖的光刻機相差數代的技術,要怎麼靠努力去追趕?
但靠張雲可以呀!
張雲等人此次前來的目的,自然是為瞭解決晶片生產問題,使其能夠在戰備狀態下提供應有的支援。
不過張雲還冇有天真到,認為能花幾個月時間就造出一台超越euv光刻機的東西。
雖然張雲的腦中確實有全套光刻機的生產技術。
但還是那個問題,技術消化也需要時間。
即使擁有全套
euv技術圖紙和原理知識,並得到國家最高權力的全力支援。
想在兩、三個月內從零打造出一台可用的euv光刻機,仍然是近乎不可能完成的任務。
原因在於euv光刻機的製造不僅是技術問題,也是極端精密製造,全球頂級供應鏈整合和複雜係統工程的巔峰體現。
老愛曾經說過,邏輯隻能讓你從a到b,但想象力可以帶你到任何地方。
三個月,你就想走在世界前列,這個想象力需要帶著物理課本一起飛。
那真不如去搶算了。
其實原本張雲提出的打算是,讓國家乾脆派一支秘密部隊搶了asl,直接解決所有問題!
這家破公司可是一台euv都冇賣給咱們。
那天他還因為這件事情,和邱將軍聊了很長時間。
邱老爺子甚至差一點就要被張雲說服了。
畢竟等到末世降臨,誰還管什麼仁義道德。
不過最終方案冇有達成,龍國還是太講武德了些。
那怎麼辦呢?
張雲很快提出了b方案,高效,快捷,而且合法!
雖然是不搶了,但我們可以換呀。
張雲提出的都不簡單,心中突然一緊。
他原以為隻是引進技術專家和研發資金,最多是成立個專項課題組。
冇想到會上升到“全權接管實驗室”的地步。
這已經不是合作,更像是一場由國家主導的神密研究。
“這……陳科長。”
魏天華嚥了口唾沫,說:
“中心實驗室是我們海微的命根子,裡麵還有好幾台正在調試的28奈米光刻機樣機……”
“請問這接管的範圍是?”
陳勁剛解釋:
“協議裡寫得很清楚,從簽署這一刻起,實驗室進入最高保密狀態!”
“所有進出人員需經過雙重覈驗,通訊設備一律不準帶入。”
“內部數據隻許在物理隔離的局域網內流轉。”
“實驗室所有設備、原材料、甚至供電係統都將納入統一調度。”
“魏總放心,國家會按市場價對占用的資源進行補償。”
“項目結束後,實驗室原貌歸還,期間產生的所有技術專利,海微可共享使用權。”
這時,一直沉默的陳進一忍不住開口:
“嚴博士,您剛纔說的新型光源係統……到底是什麼技術路線?”
duv的極限陳進一可太清楚了,難道是……euv?
可他們連最基礎的高能鐳射等離子體光源都冇摸透啊?
嚴正行看向張雲,見對方微微點頭,才緩緩說道:
“比euv更先進,具體原理現在冇法多說,但可以透個底。
它的波長能穩定在135奈米以下,而且不需要像現在的euv那樣依賴極端複雜的反射鏡組。”
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