情滿四合院之簽到人生 第315章 係統獎勵“半導體材料指南”
1982年深秋的清華園，銀杏葉鋪滿了通往物理係的小徑，踩上去沙沙作響。林建軍提著一網兜蘋果，站在“近代物理實驗室”的紅磚樓前，看著樓頂上“為祖國健康工作五十年”的標語，忍不住笑了——這話林衛國小時候聽他唸叨過無數次，如今真成了兒子實驗室牆上的座右銘。
“爸！”林衛國從樓裡跑出來，身上的藍布工裝沾著幾點白色粉末，是實驗用的石英砂。他比暑假時瘦了些，眼鏡片後的眼睛卻亮得驚人，拉著林建軍的胳膊就往實驗室裡帶，“快進來，我們剛做出純度99.99%的多晶矽，正想給您報喜呢！”
實驗室裡彌漫著氫氟酸的刺鼻氣味，幾個穿著白大褂的學生圍在一台矽片爐前，藍色的火焰舔舐著石英管，裡麵正在進行矽材料的氣相沉積。靠牆的櫃子上擺著一排排貼著標簽的樣品瓶，最上麵那瓶貼著“林衛國
10.25”的標簽，瓶底的矽錠泛著金屬的光澤。
“這是我們組的王教授，這是我爸，軋鋼廠的技術主任。”林衛國忙著介紹，王教授是個頭發花白的老者，握著林建軍的手笑道：“早就聽衛國提起您，說您手把手教他看機械圖紙，這孩子的動手能力，在全係都是拔尖的。”
林建軍看著兒子除錯裝置的側臉，想起他小時候趴在軋鋼廠車間的地上，看自己修機床的模樣。時光過得真快，當年那個舉著扳手都費勁的小家夥，現在已經能擺弄國內最先進的半導體裝置了。
“王教授，孩子們辛苦。”林建軍把蘋果放在實驗台的角落，“衛國說你們在攻關高純度矽材料？”
“是啊，難啊。”王教授歎了口氣，指著顯微鏡下的矽片，“國外能做到99.9999%，咱們現在最好的水平才99.99%，差兩個數量級，就卡在這裡了。沒有高純度矽，積體電路就是空談，國家的半導體產業總不能一直靠進口。”
林衛國正在用鑷子夾取矽片，聞言抬頭道：“我們嘗試改進提純工藝，用三氯氫矽還原法，但總控製不好溫度梯度，雜質含量降不下來。”他指著電腦螢幕上的曲線，“你看這雜質峰值，總是在10的負四次方徘徊。”
林建軍湊過去看，螢幕上的雜質檢測曲線像條倔強的尾巴，始終不肯落到合格線以下。他想起軋鋼廠提煉特種鋼時的經驗——溫度控製、氣流速度、原料純度，任何一個引數差一點，成品質量就會大打折扣。半導體矽的提純，原理相通，隻是精度要求更高，堪稱“工業上的繡花活”。
就在這時，腦海裡的係統提示音如期而至，比實驗室的儀器蜂鳴聲更清晰。
【叮！】
係統的聲音帶著晶體般的純粹質感：【檢測到“國家戰略技術需求”，符合“科技報國”主線。】
【獎勵“半導體矽材料提純工藝指南（1982版）”：包含三氯氫矽還原法溫度梯度優化引數、石英器皿預處理方案、雜質檢測誤差修正公式，附國產替代原料采購渠道。】
資訊流瞬間湧入腦海，林建軍眼前彷彿展開了一張精密的工藝流程圖：三氯氫矽在1100c時的分解效率最高，但需配合每分鐘5升的氫氣流速；石英管必須用氫氟酸浸泡24小時，再經1200c焙燒，才能去除表麵的鈉雜質；甚至連檢測時的探針壓力，都標注著“0.5克力為最佳，避免矽片晶格損傷”。
最關鍵的是“雜質陷阱”解決方案——在提純後期通入微量的硼元素，利用“摻雜補償”原理，將剩餘的磷雜質濃度降低兩個數量級，這正是王教授團隊苦苦摸索的突破口。
“衛國，你過來。”林建軍拉著兒子走到角落，從口袋裡掏出個筆記本，假裝是早就準備好的，“我前陣子去中科院開會，聽半導體所的老專家講過幾句，記了點東西，你看看有用沒。”
他快速寫下幾個關鍵引數：還原爐溫度1105±2c，氫氣流速5.2l\\/min，硼摻雜濃度1.2x10^15
atoms\\/cm3。字跡潦草，卻精準得像儀器列印出來的。
林衛國的眼睛越睜越大，手指在引數上點著：“爸，這溫度比我們現在用的高5c，流速也快0.2……硼摻雜？我們試過磷補償，沒敢用硼啊！”
“老專家說，矽材料裡的磷雜質多，用三族元素硼做補償，效果比同族的磷好。”林建軍故意說得含糊，“你們試試，控製好濃度，彆弄成p型半導體了。”
王教授湊過來看了兩眼，突然拍了下大腿：“對啊！我怎麼沒想到！硼的原子半徑比磷小，更容易進入矽晶格間隙，說不定真能把雜質壓下去！”他拉著林衛國就往實驗台跑，“衛國，調引數，再試一次！”
學生們重新設定程式，林建軍站在一旁，看著兒子緊張地盯著螢幕上的曲線。矽片爐的指示燈由紅變綠，冷卻後的矽錠被取出來，切成薄片，放進檢測儀器。
等待結果的三分鐘，像三個小時那麼漫長。當螢幕上的雜質濃度曲線跌破10的負六次方，穩定在8.7x10^-7時，實驗室裡爆發出震耳欲聾的歡呼。
“成了！99.9999%！”一個女生跳起來，手裡的記錄紙飄了一地，“達到國際先進水平了！”
王教授激動地握著林建軍的手，眼眶都紅了：“林師傅，您這哪是‘聽幾句’，這是把核心引數送上門啊！有了這個，咱們國家的半導體材料就不用再看外國人臉色了！”
林衛國撲過來抱住父親，聲音都在抖：“爸，您太厲害了！這引數……簡直像算出來的一樣！”
林建軍拍著兒子的背，心裡一塊石頭落了地。係統獎勵的不僅是技術，更是給國家半導體產業的“加速器”。他想起去年去深圳考察時，看到電子廠裡堆著的進口矽片，每片都標著昂貴的價格，那時就暗下決心，一定要讓兒子在這領域做出成績。
“對了爸，”林衛國突然想起什麼，從抽屜裡拿出份檔案，“國家剛成立‘半導體攻關小組’，王教授推薦我加入，下個月就能去北京半導體廠駐場研發了！”
檔案上蓋著“國家科委”的紅章，工作列寫著“64k
dram晶片材料製備”，正是當年被國外卡脖子的關鍵專案。林建軍看著兒子眼裡的光，像極了當年自己接手坦克發動機專案時的模樣。
“好小子，有出息。”他在檔案上拍了拍，“到了那邊好好乾，彆怕吃苦。記住，搞技術就得實打實，半點虛的都來不了。”
離開實驗室時，夕陽把銀杏葉染成金紅色。林衛國送父親到路口，手裡還攥著那個記著引數的筆記本，像捧著塊稀世珍寶。“爸，您那老專家還能見著嗎？我想請教幾個問題。”
林建軍笑了：“有緣自會再見。你先把這工藝吃透，做出合格的矽片，比啥都強。”他想起係統指南裡的“下一步”——矽外延生長技術，這得等兒子基礎打牢了再“不經意”地送過去。
騎車離開清華園時，林建軍特意繞到中關村。路邊已經有零星的電子元件攤，幾個年輕人蹲在地上討論著“z80晶片”，眼裡的熱情和實驗室裡的學生一樣熾烈。他知道，這裡將來會成為中國的“矽穀”，而兒子他們，就是播撒種子的人。
路過傻柱的飯館，裡麵傳出熱鬨的劃拳聲。傻柱探出頭招呼他：“林主任，進來喝兩杯？今兒紅燒肉管夠！”
“不了，回廠還有事。”林建軍揮揮手，“對了，衛國要去半導體廠駐場，週末讓槐花來我家，蘇嵐給她燉排骨。”
“得嘞！”傻柱笑著回屋，嗓門大得整條街都能聽見。
林建軍騎著車，晚風帶著涼意，心裡卻暖烘烘的。車筐裡的蘋果還剩大半，他打算分給軋鋼廠技術科的年輕人——說不定裡麵就有將來搞半導體裝置的苗子。技術傳承從來不是孤軍奮戰，得一代帶一代，像接力賽一樣，把棒子穩穩傳下去。
遠處的中科院大樓亮著燈，那裡的半導體所正在連夜分析林衛國團隊送來的矽片資料。林建軍知道，從今晚起，中國的半導體材料提純技術，將邁出關鍵一步。而這一步，是他和兒子，用雙手和初心，穩穩踩出來的。
路還長，但方向對了，就不怕遠。林建軍蹬著自行車，身影漸漸融入暮色，車鈴的清脆聲響，像在為這場無聲的技術接力，奏響輕快的序曲。